Оу. Моя дипломная специальность. :)
Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии. Это было почти 30 лет назад.
Как же они ошибались.
> Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии.
Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.
Ну и да, нынешние нанометры весьма условны - не то, что раньше.
> Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.
Да, для той литографии, которой меня учили. Хотя вот один профессор с тогда загнувшегося предприятия "Светлана" говорил, что будущее за рентгеновской фотолитографией. Но тогда уже ни средств ни возможностей для изучения её не было. Тем более студентов учить про неё... Кроме того, обсуждались методы уменьшения размеров элементов за счет дифракции и правильно выбранных фокусных расстояний. В общем в научных кругах технологического института СПб много обсуждалось того, что сейчас уже реализовано. Но именно что обсуждалось. Когда я выпускался, у мня диплом был о теплоотводе от n-p-n и p-n-p микротранзисторов, путем нанесения наноразмерной алюминиевой пленки на кристалл. Не знаю, используется ли эта технология сейчас. Не интересовался даже.
> много обсуждалось того, что сейчас уже реализовано. Но именно что обсуждалось.
Ну дык физика для всех одна. Дифракцию давно уже применили в обычной оптике.
Помню, у нас ещё говорили, что после рентгеновской (которую - тогда - непонятно как делать) остаётся только прямая литография электронным или ионным лучом. Поглядим, может и доживём.
Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии. Это было почти 30 лет назад.
Как же они ошибались.