Как это сделано: Оптика для EUV/BEUV литографии

habr.com — Интересная статья про устройство оптики для современной фотолитографии
Новости, Наука | Gopher 15:28 09.10.2021
4 комментария | 35 за, 0 против |
#1 | 20:37 09.10.2021 | Кому: Всем
Оу. Моя дипломная специальность. :)
Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии. Это было почти 30 лет назад.
Как же они ошибались.
#2 | 20:57 09.10.2021 | Кому: speaktr
> Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии.

Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.
Ну и да, нынешние нанометры весьма условны - не то, что раньше.
#3 | 21:21 09.10.2021 | Кому: amb
> Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.

Да, для той литографии, которой меня учили. Хотя вот один профессор с тогда загнувшегося предприятия "Светлана" говорил, что будущее за рентгеновской фотолитографией. Но тогда уже ни средств ни возможностей для изучения её не было. Тем более студентов учить про неё... Кроме того, обсуждались методы уменьшения размеров элементов за счет дифракции и правильно выбранных фокусных расстояний. В общем в научных кругах технологического института СПб много обсуждалось того, что сейчас уже реализовано. Но именно что обсуждалось. Когда я выпускался, у мня диплом был о теплоотводе от n-p-n и p-n-p микротранзисторов, путем нанесения наноразмерной алюминиевой пленки на кристалл. Не знаю, используется ли эта технология сейчас. Не интересовался даже.
#4 | 06:01 10.10.2021 | Кому: speaktr
> много обсуждалось того, что сейчас уже реализовано. Но именно что обсуждалось.

Ну дык физика для всех одна. Дифракцию давно уже применили в обычной оптике.
Помню, у нас ещё говорили, что после рентгеновской (которую - тогда - непонятно как делать) остаётся только прямая литография электронным или ионным лучом. Поглядим, может и доживём.
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы писать комментарии.