> Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии.
Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.
Ну и да, нынешние нанометры весьма условны - не то, что раньше.
> много обсуждалось того, что сейчас уже реализовано. Но именно что обсуждалось.
Ну дык физика для всех одна. Дифракцию давно уже применили в обычной оптике.
Помню, у нас ещё говорили, что после рентгеновской (которую - тогда - непонятно как делать) остаётся только прямая литография электронным или ионным лучом. Поглядим, может и доживём.
Сейчас, сейчас
Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.
Ну и да, нынешние нанометры весьма условны - не то, что раньше.