Оу. Моя дипломная специальность. :)
Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии. Это было почти 30 лет назад.
Как же они ошибались.
> Ты чего-то подзабыл. Упоминалось, что "невозможны" - для имеющихся длин волн. А сейчас - нашли новые волны, короче.
Да, для той литографии, которой меня учили. Хотя вот один профессор с тогда загнувшегося предприятия "Светлана" говорил, что будущее за рентгеновской фотолитографией. Но тогда уже ни средств ни возможностей для изучения её не было. Тем более студентов учить про неё... Кроме того, обсуждались методы уменьшения размеров элементов за счет дифракции и правильно выбранных фокусных расстояний. В общем в научных кругах технологического института СПб много обсуждалось того, что сейчас уже реализовано. Но именно что обсуждалось. Когда я выпускался, у мня диплом был о теплоотводе от n-p-n и p-n-p микротранзисторов, путем нанесения наноразмерной алюминиевой пленки на кристалл. Не знаю, используется ли эта технология сейчас. Не интересовался даже.
Мне преподаватели ещё рассказывали, что элементы меньше 60 нм - невозможны по физическим принципам фотолитографии. Это было почти 30 лет назад.
Как же они ошибались.