Литография будет наша
cnews.ru Для создания отечественного литографа, не уступающего ASML, ИФМ РАН предлагает ряд инноваций. Например, длина волны 11,2 нм. Это должно привести к увеличению разрешающей способности установки на 20%. Удачи нашим разработчикам!