Научный семинар НЦФМ о рентгеновских литографах

vk.com — Научный семинар, посвящённый перспективам и проблемам создания российского EUV-литографа для микроэлектроники. Докладчик - один из ведущих специалистов, завотделом многослойной рентгеновской оптики ИФМ РАН Николай Чхало. В докладе рассказывается об вкладе российских ученых в разработку зарубежных EUV литографов, проблемах и наработках по созданию российского EUV литографа (источников излучения на основе ксенона, специальной высокоотражающей оптики и т.п.) #вотт_познавательный
Видео, Наука | Славянин 12:52 29.03.2023
14 комментариев | 31 за, 0 против |
#1 | 12:57 29.03.2023 | Кому: Всем
[censored]
[censored]

описание семинара:
[censored]

В НЦФМ прошёл научный семинар, посвящённый EUV-литографии и перспективам создания отечественного EUV-литографа для микроэлектроники

С инициативой о проведении семинара выступили магистранты образовательного ядра НЦФМ – Филиала МГУ в Сарове. Научный руководитель НЦФМ академик РАН Александр Сергеев отметил: «У нас учится много ребят, лазерщиков и плазменщиков, проходят занятия по лазерно-плазменной тематике, которая, на мой взгляд, является сегодня одной из определяющих в технологическом развитии – любые достижения или изменения в этой области оказывают существенное влияние на дальнейшее развитие науки и техники».

На семинаре с докладом выступил заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики Института физики микроструктур (ИФМ) РАН Николай Чхало. Он рассказал о проекте в EUV-литографии: «Нами предложен проект высокопроизводительного рентгеновского литографа для производства микросхем по передовым технологическим нормам на основе источника излучения с длиной волны 11,2 нм. У нас есть экспериментальные результаты, указывающие на перспективы создания такого источника излучения на основе ксенона. Под него была разработана оптика с высоким коэффициентом отражения – рутениево-бериллиевые зеркала. В составе зеркальной оптической схемы литографа она будет примерно в 1,5 раза эффективнее того, что создано в зарубежных компаниях».

Подробности о прошедшем семинаре читайте на сайте Росатома
[censored]
#2 | 13:21 29.03.2023 | Кому: Всем
Досмотрел до этого слайда и заплакал:

[censored]

Карл Цейс, блин! Эти люди ни разу не видели ни цейсовских приборов, ни их описания на русском языке. Какой литограф, они и табуретку не смогут сделать.
#3 | 13:25 29.03.2023 | Кому: Кондрат
> Карл Цейс, блин! Эти люди ни разу не видели ни цейсовских приборов, ни их описания на русском языке.
> Какой литограф, они и табуретку не смогут сделать.

А суть претензии то в чем ?
#4 | 14:14 29.03.2023 | Кому: Всем
Ничего не понял, но на всякий случай запенил.
#5 | 14:46 29.03.2023 | Кому: Кондрат
Гугель утверждает, что Zeiss произносится как "Зайс". Другое дело, что у нас как-то прижилось Цейс.
#6 | 14:47 29.03.2023 | Кому: rivius
> Гугель утверждает, что Zeiss произносится как "Зайс". Другое дело, что у нас как-то прижилось Цейс.
>

Даже педивикия пишет Цайс !!!

[censored]

> Carl Zeiss AG («Цейс»; по-немецки читается Цайс[1])
#7 | 15:59 29.03.2023 | Кому: Славянин
> Даже педивикия пишет Цайс

Педивикия по русски пишет Цейс. Цайс это по-немецки. Лейка по-русски, Лайка по-немецки. Цайс, Лайка говорят те, кто не знаком с литературой на русском языке, в том числе научной, и те, кто не пользовался в своей работе, в том числе научной, цейсовской оптикой и приборами. Когда так говорит иностранец это нормально. Но когда так говорят и пишут российские ученые, это означает, что с предметом обсуждения они знакомы поверхностно.
#8 | 16:56 29.03.2023 | Кому: Кондрат
Настолько поверхностно, что разрабатывают рентгеновские зеркала для всяких лохов типа ASML
#9 | 17:32 29.03.2023 | Кому: Кондрат
> Но когда так говорят и пишут российские ученые, это означает, что с предметом обсуждения они знакомы поверхностно.

Этот ж как надо было смотреть семинар, чтоб прийти к таким выводам... Ты либо не смотрел, либо вообще ничего не понял. Мож отдохни и пересмотри на свежую голову на досуге.
#10 | 18:13 29.03.2023 | Кому: oneman
> Настолько поверхностно, что разрабатывают рентгеновские зеркала для всяких лохов типа ASML

Обзорная статья на сайте ASML:

asml.com/en/news/stories/2022/making-euv-lab-to-fab

Слово "Россия" встречается один раз:

История EUV основывается на исследованиях многослойных зеркал в России в 70-х годах ...

Слово "Zeiss" встречается пять раз:

Начиная с 1998 г, когда Цейс стал партнером и до настоящего времени, когда цейсовские зеркала будут стоять в суб нм машинах

Разница есть?
#11 | 20:23 29.03.2023 | Кому: Кондрат
> Обзорная статья на сайте ASML:
>

10 минут поиска совместных научных публикаций российских и голландских коллективов, которые прямо аффилированы с ASML (множество прочих научных статей по EUV проблематике совместно опубликованы так же с голландскими коллективами, но без прямой аффилиации с ASML, хотя наверняка с ASML так или иначе связанных)

[censored]
[censored]
[censored]
[censored]
[censored]
[censored]
[censored]


>Слово "Россия" встречается один раз:


Докладчик утверждает, что российские научные коллективы и Цайс/ASML имеют более 20 совместных патентов. Ты семинар явно не смотрел.
#12 | 05:57 30.03.2023 | Кому: Славянин
> совместных научных публикаций российских и голландских коллективов

> российские научные коллективы и Цайс/ASML


Что, они тоже все поголовно неграмотные и называют Цейс цайсом? Или все же нет?
#13 | 06:15 30.03.2023 | Кому: Кондрат
> Что, они тоже все поголовно неграмотные и называют Цейс цайсом? Или все же нет?
>

Лично я, как изучавший немецкий язык как основной иностранный как в школе, так и в институте, всегда произносил на немецкий манер, то есть Цайс, и даже не задумывался об этом, пока ты не раскрыл страшную тайну !!!

О компетенции ученых принято судить по их научным публикациям.

И к то ж бы мог подумать, что у российских научным коллективов (оказывается !) имеется серьёзный научный задел в данной области. Если бы интеллектуалы 10 лет назад не выкинули деньги на проведение олимпиады, а выделили бы хотя бы 1/10 часть этих средств на научный прорыв в ключевых наукоемких направлениях, то первые промышленные образцы литографов уже подоспели бы. Ну кто ж виноват, что страной рулят охломоны.
#14 | 11:12 30.03.2023 | Кому: Кондрат
> Что, они тоже все поголовно неграмотные и называют Цейс цайсом? Или все же нет?

Они ещё называют Моцарта Мозартом, а Хрущёва Крусчовым :)
Войдите или зарегистрируйтесь чтобы писать комментарии.