niime.ru — НИИ НИИМЭ и НИИТМ завершили разработку и сборку первых в России кластерных систем для процессов плазмохимического осаждения и травления. Установки позволят выпускать интегральные микросхемы по топологическим нормам 65 нм на пластинах 200/300 мм. Особую ценность представляет модульность платформы, которая позволяет гибко конфигурировать оборудование в зависимости от потребностей производств и возможность интергировать в существующие процессы производства полупроводников #полупроводники

science.mail.ru — часть атомов в жидком металле может оставаться неподвижной даже при экстремально высоких температурах.