"Скорость распыления — не критична, так что рано или поздно этот несчастный микрон алюминия осядет в любом случае :-) Алюминий травить можно практически чем угодно — но ортофосфорной кислотой как раз не желательно, ибо фосфор — может создать паразитное легирование кремния (особенно если там будет термообработка после травления). А вот соляная кислота — в самый раз."
Сейчас, сейчас