Сейчас, сейчасSamsung представила техпроцессы с нормами 11 нм и 7 нм
3dnews.ru — Техпроцесс с нормами 11 нм будет использовать классические сканеры с длиной волны 193 нм, а техпроцесс с нормами 7 нм впервые в индустрии задействует сканеры с длиной волны 13,5 нм. Подобные сканеры в этом году массово начала выпускать одна единственная компания — нидерландская ASML. Стоимость каждой установки не ниже $110 млн. Это примерно на треть дороже, чем стоимость 193-нм сканеров. В этом году ASML выпустит 14 EUV-сканеров, а в 2018 году уже 28 штук.
