Samsung представила техпроцессы с нормами 11 нм и 7 нм

> техпроцесс с нормами 7 нм впервые в индустрии задействует сканеры с длиной волны 13,5 нм. Это излучение в крайнем (жёстком) ультрафиолетовом диапазоне, использовать которое можно только с системой зеркал. Стеклянная оптика поглощает EUV-излучение и не годится для сканеров нового поколения.

Охренеть! А что ж там за оптика тогда? Что за зеркала, какое у них покрытие?

> Зеркала любые, без стеклянного покрытия.

Ну вон видишь - не любые.

"Отражающие оптические конструктивные элементы для использования в крайнем УФ-диапазоне, который охватывает диапазон длин волн примерно от 10 нм до 50 нм, могут быть реализованы с многослойными зеркалами, которые содержат, как правило, периодическую последовательность из множества пар тонких слоев. Пара тонких слоев содержит, в общем случае, два слоя из различных материалов, которые в диапазоне длин волн, предусмотренном для применения конструктивного элемента, должны иметь максимально возможное различие в их оптических постоянных. По меньшей мере, один из этих материалов должен на предусмотренной длине волны иметь минимально возможное поглощение. Поэтому выбор материалов для многослойных зеркал зависит, прежде всего, от длины волны, при которой должен применяться оптический компонент. Поэтому в крайнем УФ спектральном диапазоне, для соответствующего диапазона длин волн, определенного в большинстве случаев шириной всего лишь несколько нм, имеется одна оптимальная пара материалов, которая гарантирует высокое отражение, ввиду оптического контраста материалов слоев."

> А оптика - кварц для ультрафиолета прозрачен.

Если только так.

> Есть и другие прозрачные для него материалы - тот же полиэтилен, например.

Есть у меня большие сомнения, мягко говоря, что из пластичного материала удастся изготовить прецизионную оптику.

> 26.5

Период кристаллической решётки кремния - 0,54 нм.